国产亚洲精品久久久久久久-亚洲欧美另类激情综合区蜜芽-国产97在线 | 美洲-4399理论片午午伦夜理片-变态另类牲交乱

首頁 > 技術文章 > 技術干貨|功率場效應管過壓失效機理及典型特征分析

技術干貨|功率場效應管過壓失效機理及典型特征分析

點擊次數:2131 更新時間:2024-09-18
  失效分析最常觀察到的現象是EOS過電失效,分為過壓失效及過流失效的兩種失效模式。對于以功率器件為代表的EOS過電失效樣品,其失效表征往往表現為芯片的大面積熔融,導致難以進一步判定其失效模式。
 
  本文以常規MOS、IGBT場效應管為例,從芯片內部結構進行分析和明確過壓擊穿容易出現的失效位置及機理解釋。
 
  承壓結構分析根據芯片結構圖示,可見芯片關閉時,承受偏壓的結構主要包括柵氧、PN交界面(橙色箭頭分布區域)。
GRGT 承壓結構分析根據芯片結構圖示
  不同承壓位置分析
 
  1、元胞區柵氧與PN交界面耐壓分析分析
 
  單個元胞,可見承壓主要由N-區耗盡層承擔。耗盡層的存在,使得電壓被均勻分擔到該面積區域內。
 
  實物芯片均由以上單個元胞(四方形、六角形、長條形等)重復排列組成,因此只要相鄰P區足夠近,耐壓導致的耗盡層就會重疊,最終表現為整個元胞區耗盡層底面近似平面。耗盡層將柵氧、PN交界面包覆在內,承壓主要由耗盡層實現。
 
GRGT元胞區柵氧與PN交界面耐壓分析分析
  2、元胞區平面結與終端柱形結耐壓分析
 
  芯片最終耐壓考量轉化為元胞耗盡層平面(平面結)與終端耗盡層曲面(柱形結)耐壓能力的對比。
 
GRGT元胞區平面結與終端柱形結耐壓分析
  目前業內針對耗盡層耐壓能力的研究,主要借助泊松方程推算,最終得到耐壓與曲率半徑、耗盡層寬度的關系式。由于耗盡層寬度遠高于曲率半徑,因此算得柱形結耐壓強度遠低于平面結。(Fundamentals of Power Semiconductor Devices. B. Jayant Baliga.P107~111)從常理也不難理解,側面P摻雜主要為向下摻雜的副產物,其厚度及濃度均較低,對應感應產生的耗盡層抗壓能力會弱很多。
 
  3、終端柱形結與球形結耐壓分析
 
  擴展到三維結構,還需考慮P區摻雜兩個柱形結相交球形結。與柱形結同理,球形結位置對應擊穿電壓會更低。并且無論單個元胞形狀如何設計(四方形、六角形、長條型等),只要距離夠近其內部摻雜區耗盡層均會重疊,最終均表現為最外圍球形結及耗盡層耐壓最差。
 
GRGT終端柱形結與球形結耐壓分析
  4、終端區場限環分析
 
針對此問題,業內普遍選用場限環+場板的工藝結構,進一步延伸終端耗盡層的分布區域,從而達到盡可能擴大承壓面積的目的。因此場限環的寬度、間距、數量成為決定器件耐壓的主要影響因素,也是各家產品設計重點關注方向。
GRGT終端區場限環分析
  總結
 
  綜合以上分別對元胞區柵氧、PN交界面,耗盡區平面結、柱形結、球形結,終端區場限環的結構、位置原理分析,可以明確芯片耐壓最脆弱位置往往表現在源區邊緣,特別是轉角位置。失效現象表現為較小面積的燒蝕黑點。
 
  廣電計量服務能力
 
  廣電計量在功率晶體管領域積累了豐富的失效失效機理及對應失效表現分析經驗,包括但不限于:封裝失效類別及表現、電壓擊穿機理及表現、電流燒蝕機理及表現、柵氧缺陷機理及表現、動態/靜態閂鎖機理及表現、雪崩擊穿機理及表現、二次擊穿機理及表現、輻照失效機理及表現,協助客戶從半導體基礎原理深入分析其失效機理。
主站蜘蛛池模板: 久久久久久人妻无码| 精品国产丝袜自在线拍国语| 亚洲综合色区在线观看| 亚洲国产精品一区二区成人片国内| 色欲aⅴ亚洲情无码av| 好爽好舒服要高潮了视频| 国产又色又爽又黄好看视频| 精品无人区卡一卡二卡三乱码| 国产乱码一区二区三区| 福利视频一二三在线观看| 无码尹人久久相蕉无码| 精品综合久久久久久97超人| 午夜男女xx00视频福利| 日本体内she精高潮| 亚洲国产成人片在线观看| 欧美性猛交xxxx免费看蜜桃| 天美麻花果冻视频大全英文版 | 日韩av一区二区三区免费看| 国产成人精品男人的天堂| 国内精品乱码卡一卡2卡| 男女18禁啪啪无遮挡| 国产精品自在拍在线拍| 特黄特色大片免费播放器图片| 在线亚洲综合欧美网站首页| 欧美精品在线观看| 午夜a理论片在线播放| 人人妻人人澡人人爽超污| 国产亚洲综合网曝门系列| 国模小黎自慰337p人体| 国产精品原创巨作av女教师| 欧美牲交a欧牲交aⅴ久久| 亚洲国产精品国自产拍电影| 色婷婷亚洲六月婷婷中文字幕| 欧洲卡一卡二卡三爱区| 国产 高清 无码 在线播放| 国产精品亲子乱子伦xxxx裸| 高潮爽死抽搐白浆gif视频| 国内少妇偷人精品视频免费| 国产精品白浆无码流出| 久久天天躁狠狠躁夜夜躁2012| 动漫啪啪高清区一区二网站|